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Helixfil系列助力大型电子超纯水项目
在电子行业,,,,,,纯水在电子元器件生产中的主要作用日益突出。。。。。。纯水品质已成为影响电子元器件产品质量、生产制品率及生产本钱的主要因素之一。。。。。。在集成电路生产中,,,,,,超纯水是与芯片接触最频仍的介质之一,,,,,,水质的优劣直接影响到电路的制品率与产品质量,,,,,,这就要求水质要严酷抵达响应工艺水平所要求的指标。。。。。。
2021/11/22

01 什么是电子超纯水????????
在电子行业,,,,,,纯水在电子元器件生产中的主要作用日益突出。。。。。。纯水品质已成为影响电子元器件产品质量、生产制品率及生产本钱的主要因素之一。。。。。。在集成电路生产中,,,,,,超纯水是与芯片接触最频仍的介质之一,,,,,,水质的优劣直接影响到电路的制品率与产品质量,,,,,,这就要求水质要严酷抵达响应工艺水平所要求的指标。。。。。。
电子超纯水是指将水中的导电介质险些完全去除,,,,,,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低水平的水,,,,,,水中除了水分子(H2O)外,,,,,,险些没有什么杂质,,,,,,更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物。。。。。。这种水的制作工艺可以通过蒸馏、去离子化、反渗透手艺或其他适当的超临界细腻手艺生产出来的水。。。。。。现在以反渗透手艺在电子超纯水制备方面应用较量普遍,,,,,,具有高脱盐率、顺应水质含盐量规模广、化学药剂消耗少、环保、占地面积小、自动化水平高、产水的水质稳固等特点。。。。。。
四川某公司 PDP 项目一期工程启动大型电子超纯水项目,,,,,,工艺特点为“高精手艺,,,,,,高清洁度”,,,,,,其水处置惩罚工艺需要为生产提供超纯水,,,,,,而反渗透系统为其中最主要的脱盐处置惩罚系统。。。。。。
该水处置惩罚项目的原水取自市政自来水,,,,,,电导率在 200~800 μS/cm 之间波动,,,,,,进水余氯质量浓度在 0.2~1 mg/L 之间波动。。。。。。
02 电子超纯水系统工艺
整个水处置惩罚系统分为预处置惩罚系统+反渗透为主的脱盐系统+精处置惩罚系统+(加温后)+后续的精处置惩罚工艺,,,,,,最后获得电子超纯水。。。。。。整个水处置惩罚系统有加热功效,,,,,,凭证差别的用水温度需要调解进水温度。。。。。。
预处置惩罚系统由絮凝剂和杀菌剂+全自动多介质过滤器+全自动活性炭过滤器+预处置惩罚产水箱+预处置惩罚运送泵组成。。。。。。主要通过添加药剂和机械过滤器往复除掉水中泥沙、悬浮物、胶体、微生物等物质,,,,,,包管产水的 SDI<5,,,,,,知足反渗透的进水条件。。。。。。
精处置惩罚系统主要由进水泵+一级 TOC UV+膜脱气系统+一连电除盐系统(CEDI)组成,,,,,,主要是进一步去除水中的含盐量,,,,,,为后续的精处置惩罚系统提供稳固的水质包管。。。。。。后续精处置惩罚凭证漫衍差别分两股水,,,,,,由水罐+泵+二级TOC UV+超纯水抛光混床+换热器+0.1μm 过滤器组成,,,,,,之后差别温度的产水作为超纯水使用。。。。。。水处置惩罚流程如下图所示

该水处置惩罚系统主要由多介质过滤器+活性炭过滤器+一级RO系统+二级RO系统+CEDI系统+PCW系统(锅炉增补水)+〔(25±1)℃超纯水系统+(40±1)℃超纯水系统〕组成的。。。。。。
03 反渗透系统设计
由于反渗透系统允许进水含盐量相对较广,,,,,,且脱盐率高,,,,,,故反渗透系统是整个水处置惩罚系统中脱盐的焦点,,,,,,反渗透膜可除去水中绝大部分可溶性盐分,,,,,, 除去水中所有的胶体和微生物,,,,,,包管了出水水质,,,,,,为后续的工艺提供优质的水源,,,,,,减轻脱盐负荷。。。。。。
反渗透为主的脱盐系统主要包括一级反渗透系统和二级反渗透系统,,,,,,一级反渗透系统为最主要的脱盐系统。。。。。。该反渗透系统主要由热交流器+保安过滤器+一级高压泵+一级反渗透系统+缓冲水罐+二级高压泵+二级反渗透系统+产水水箱组成。。。。。。
着重先容一级反渗透系统的运行情形,,,,,,一级反渗透系统单套设计为一级两段:(14∶6)×6,,,,,,单套 120 支膜元件,,,,,,系统设计产水 103 m3 /h,,,,,,设计接纳率 75%,,,,,,温度为 25 ℃,,,,,,共 5 套,,,,,,膜元件共 600 支。。。。。。以反渗透膜系统为主先容说明该水系统的运行情形。。。。。。
思量到原水(市政自来水)的水质受季节和天气的影响波动性很大,,,,,,故此套水处置惩罚系统使用的反渗透膜是时代酷游官网Helixfil系列增强型反渗透膜元件中的PURO-I。。。。。。


比照通俗系列的膜元件,,,,,,PURO-I膜元件接纳特殊工艺对膜外貌举行处置惩罚,,,,,,改变了膜片外貌的平滑度,,,,,,增添膜外貌亲水性,,,,,,膜外貌的电荷也趋近于中性,,,,,,同时接纳 34 mil宽进水流道网设计,,,,,,从而减小了胶体、污染物和微生物在膜外貌的污染,,,,,,显著提高膜元件抗污染能力,,,,,,延伸膜的使用寿命,,,,,,同时更耐洗濯。。。。。。
04 反渗透系统的优异体现
从该厂大型水处置惩罚项目现实应用的情形来看,,,,,,设计可行。。。。。。PURO-I 膜在此系统中的运行优异,,,,,,给该厂后续的水处置惩罚工艺提供了稳固的水质。。。。。。一级反渗透系统在运行时代系统的运行压力在1MPa左右;;;;;;;系统的进水电导率在300~400 μS/cm之间波动,,,,,, 产水电导率始终在5μS/cm以下,,,,,,系统的脱盐率在98.5%以上;;;;;;;系统的平均产水量在100 m3 /h左右,,,,,,系统的接纳率在75%左右,,,,,,知足客户的供水要求。。。。。。反渗透系统运行时代对运行情形举行了纪录剖析,,,,,,如下图所示

整个水处置惩罚系统牢靠资产折旧费、电耗、药剂消耗以及人工等种种用度举行核算,,,,,, 其中一级反渗透产水本钱为 2.87元/t,,,,,, 二级反渗透产水本钱为4.47元/t,,,,,,总的超纯水产水本钱为 6.85元/t,,,,,,外地自来水的价钱为2.33元/t,,,,,, 该水处置惩罚系统给工厂提供了优质而稳固的水源。。。。。。

反渗透手艺在该厂大型电子超纯水项目中获得乐成应用,,,,,,为后续的脱盐处置惩罚工艺提供了优质的水源,,,,,,包管了后续脱盐工艺的稳固,,,,,,也验证了反渗透手艺在电子超纯水项目应用中的优异体现,,,,,,同时也增添了一个可供参考的成熟案例。。。。。。
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